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| 加工定制：否 | 品牌：MLase GmbH | 型号：Arf/Krf |
| 种类：激光器 | 工作物质：气体 | 输出波长：193/248nm |
德国MLase准分子激光器采用全金属陶瓷密封管腔与电晕预电离技术，结合固态高压开关和闭环水冷系统，能够以高达1000 Hz的重复频率输出稳定的脉冲能量（如KrF 248 nm型号可达10 mJ以上，ArF 193 nm型号专为眼科优化），其***的气体净化与主动温控设计将脉冲能量波动控制在±5%以内，并支持长达数亿次脉冲的免换气运行；激光器提供从157 nm到351 nm的多波长平台，光束均匀性优于5%（均方根），且通过模块化电源和可更换光学窗片简化维护，同时内置能量监测、安全联锁和实时诊断接口，确保在医疗手术、脆性材料微加工及光谱分析等严苛场景下兼具高精度、长寿命与低运营成本。
主要特点：
工业化设计；
电晕预电离技术；
固态集成电路；
***的激光腔技术；
能量监控；
紧凑型结构，占用空间小；
单相供电。
优点：
可靠性高；
运行维护费用低***负载，即可持续工作；
光斑能量分布均匀；
可直接使用，无老化现象；
全金属密封腔；
激光腔的寿命长达几十亿次脉冲；
能量稳定；
操作方便，易于集成；
水冷散热。
技术参数：
| 气体介质 | ArF | ArF | KrF | KrF |
| 波长（nm） | 193 | 193 | 248 | 248 |
| 重复频率（Hz） | 500 | 1000 | 500 | 1000 |
| 平均脉冲能量（mJ） | 6 | 6 | 12 | 12 |
| 平均脉冲功率（W） | 3.0 | 6.0 | 6.0 | 12 |
| 能量稳定性（sigma，%） | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 光班尺寸（FWHM,VxH） | 6x3 | 6x3 | 6x3 | 6x3 |
| 光束发散角（FWHM,V*Hmrad） | 2x1 | 2x1 | 2x1 | 2x1 |
| 脉冲宽度（FWHM）（ns） | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 |
常规物理参数：
重量：约80kg。
制冷方式：水冷。
供电要求：230V，50/60Hz，需求功率2000W。
尺寸(L*W*H)：560*355*445mm。
